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Miscele di gas di fluoro come alternativa ecologica ai gas di pulizia per i semiconduttori
I produttori di chip semiconduttori utilizzano nei loro processi una varietà di gas per modellare i wafer di silicio. Dopo la lavorazione di un certo numero di wafer, le camere di processo devono essere pulite. Per soddisfare le esigenze dell'industria dei semiconduttori, Solvay ha sviluppato e brevettato a livello globale due diverse miscele di gas di fluoro come gas ecologici per i processi di pulizia CVD. Solvaclean è un gas di pulizia che sostituisce i tre principali gas di pulizia C2F6, CF4 e NF3, con miscele di gas fluorurati rispettose dell'ambiente. Questo progetto comprendeva la convalida e l'ottimizzazione dei nuovi processi di pulizia sulle apparecchiature di produzione e il rilascio alla produzione FAB (impianto di fabbricazione di semiconduttori dove vengono prodotti dispositivi come i circuiti integrati). Solvaclean pulisce con una velocità e un'efficienza simili a quelle delle alternative, con un minor consumo di gas per ogni utilizzo.
Solvay
In Solvay, padroneggiamo gli elementi essenziali per il nostro mondo.
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