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Solvaclean
Miscele di gas di fluoro come alternativa ecologica ai gas di pulizia per i semiconduttori
01.
Identificazione
I produttori di chip semiconduttori utilizzano nei loro processi una varietà di gas per modellare i wafer di silicio. Dopo la lavorazione di un certo numero di wafer, le camere di processo devono essere pulite. Per soddisfare le esigenze dell'industria dei semiconduttori, Solvay ha sviluppato e brevettato a livello globale due diverse miscele di gas di fluoro come gas ecologici per i processi di pulizia CVD. Solvaclean è un gas di pulizia che sostituisce i tre principali gas di pulizia C2F6, CF4 e NF3, con miscele di gas fluorurati rispettose dell'ambiente. Questo progetto comprendeva la convalida e l'ottimizzazione dei nuovi processi di pulizia sulle apparecchiature di produzione e il rilascio alla produzione FAB (impianto di fabbricazione di semiconduttori dove vengono prodotti dispositivi come i circuiti integrati). Solvaclean pulisce con una velocità e un'efficienza simili a quelle delle alternative, con un minor consumo di gas per ogni utilizzo.
Settore
Applicazione
Profilo del cliente target
Tags
Data del certificato
gennaio 2021
Di
Solvay
Dal
Belgio
Fase di maturità
Commercializzazione su piccola scala
In cerca di
Rete, Nuovi clienti, Visibilità
Settori - Catena del valore - Applicazione
Settori
Candidature
Progettare, alimentare e produrre
Confezionamento e distribuzione
Uso ed efficienza
Valorizzare e ripristinare
Fasi della catena del valore
02.
I benefici per l'ambiente
- •Meno gas fluorurati utilizzati
- •2200 t di risparmio di CO2 sulla base di 30000 wafer
- •Non è necessario l'incenerimento al plasma del gas di scarico
- •2200 t di risparmio di CO2 rispetto alla pulizia di 30000 wafer con C2F6 - potenziale di risparmio annuale di 4,5 milioni di tonnellate di CO2 equivalente
- •Fino al 10% di risparmio energetico grazie alle sorgenti al plasma e all'assenza di bruciatori al plasma
- •Fino al 50% di risparmio idrico
03.
I vantaggi finanziari
- •Il tempo di ritorno dell'investimento per la sostituzione di C2F6 è inferiore a 2 anni.
- •Solvaclean non ha bisogno di inceneritori al plasma per distruggere i residui di C2F6, NF3 o SF6, con conseguente riduzione dei costi.
04.
Regione di attività
- Mappa
- /
- Lista
Asia
Singapore, Cina (continente), Giappone, Corea del Sud, Malesia, Taiwan,
Nord America
- Sede operativa
- Attività
05.
Profilo Richiedente
Solvay
Solvay è un'azienda globale guidata da chimici orgogliosi e impegnati. Chiedere di più alla chimica.
Visualizza il profilo aziendale
Sede operativa
1000 Brussels, Belgium
06.
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07.
Soluzioni complementari
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