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Solvaclean
Mélanges de gaz fluorés comme alternative écologique aux gaz de nettoyage pour les semi-conducteurs
01.
Identification
Les fabricants de puces à semi-conducteurs utilisent dans leurs procédés une variété de gaz pour modeler les plaquettes de silicium. Après un certain nombre de plaquettes traitées, les chambres de traitement doivent être nettoyées. Pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs, Solvay a développé et breveté au niveau mondial deux mélanges différents de gaz fluorés comme gaz respectueux de l'environnement pour les processus de nettoyage CVD. Solvaclean est un gaz de nettoyage destiné à remplacer les trois principaux gaz de nettoyage C2F6, CF4 et NF3, par des mélanges de gaz fluorés respectueux de l'environnement. Ce projet comprenait la validation et l'optimisation des nouveaux procédés de nettoyage sur les équipements de production et la mise en production FAB (usine de fabrication de semi-conducteurs où sont fabriqués des dispositifs tels que les circuits intégrés). Solvaclean nettoie avec une vitesse et une efficacité similaires à celles des alternatives, avec moins de gaz utilisé par utilisation.
Secteur
Application
Profil du client cible
Tags
Date du label
janvier 2021
Par
Solvay
De
Belgique
Stade de maturité
Commercialisation à petite échelle
En train de rechercher
Réseau, Nouveaux clients, Visibilité
Secteurs - Chaîne de valeur - Application
Secteurs
Applications
Conception, alimentation et production
Emballer et distribuer
Utilisation et efficacité
Valoriser et restaurer
Étapes de la chaîne de valeur
02.
Les avantages pour l'environnement
- •Moins de gaz fluorés utilisés
- •2200 t de CO2 économisées sur la base de 30000 plaquettes
- •Pas d'incinération au plasma des gaz d'échappement nécessaire
- •Économie de 2200 t de CO2 par rapport au nettoyage de 30 000 plaquettes avec du C2F6 - potentiel d'économie annuelle de 4,5 millions de tonnes d'équivalent CO2.
- •Jusqu'à 10 % d'économies d'énergie grâce aux sources de plasma et à l'absence de brûleurs à plasma
- •Jusqu'à 50 % d'économies d'eau
03.
Les avantages financiers
- •Le temps de retour sur investissement pour remplacer le C2F6 est inférieur à 2 ans.
- •Solvaclean n'a pas besoin d'incinérateurs à plasma pour détruire les C2F6, NF3 ou SF6 restants, ce qui entraîne une réduction des coûts.
04.
Région d'activité
- Carte
- /
- Liste
Asie
Singapour, Chine (continentale), Japon, Corée du Sud, Malaisie, Taïwan,
Amérique du Nord
- Siège principal
- Activité
05.
Profil de l'entreprise
Solvay
Solvay est une entreprise mondiale dirigée par des chimistes fiers et engagés. Exiger plus de la chimie.
Voir le profil de l'entreprise
Siège principal
1000 Brussels, Belgium
06.
Sujets associés
07.
Solutions complémentaires
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