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Solvaclean

Mélanges de gaz fluorés comme alternative écologique aux gaz de nettoyage pour les semi-conducteurs

January 2021
Gallery Solvaclean 1
Gallery Solvaclean 1
01.

Identification

Les fabricants de puces à semi-conducteurs utilisent dans leurs procédés une variété de gaz pour modeler les plaquettes de silicium. Après un certain nombre de plaquettes traitées, les chambres de traitement doivent être nettoyées. Pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs, Solvay a développé et breveté au niveau mondial deux mélanges différents de gaz fluorés comme gaz respectueux de l'environnement pour les processus de nettoyage CVD. Solvaclean est un gaz de nettoyage destiné à remplacer les trois principaux gaz de nettoyage C2F6, CF4 et NF3, par des mélanges de gaz fluorés respectueux de l'environnement. Ce projet comprenait la validation et l'optimisation des nouveaux procédés de nettoyage sur les équipements de production et la mise en production FAB (usine de fabrication de semi-conducteurs où sont fabriqués des dispositifs tels que les circuits intégrés). Solvaclean nettoie avec une vitesse et une efficacité similaires à celles des alternatives, avec moins de gaz utilisé par utilisation.

Date de l'étiquette janvier 2021
Par Solvay
De Belgique
Stade de maturité Commercialisation à petite échelle
En train de rechercher Réseau, Nouveaux clients, Visibilité

Secteurs - Chaîne de valeur - Application

Secteurs
Applications
Conception, alimentation et production
Emballer et distribuer
Utilisation et efficacité
Valoriser et restaurer
Étapes de la chaîne de valeur
02.

Les avantages pour l'environnement

  • Moins de gaz fluorés utilisés
  • 2200 t de CO2 économisées sur la base de 30000 plaquettes
  • Pas d'incinération au plasma des gaz d'échappement nécessaire
  • Économie de 2200 t de CO2 par rapport au nettoyage de 30 000 plaquettes avec du C2F6 - potentiel d'économie annuelle de 4,5 millions de tonnes d'équivalent CO2.
  • Jusqu'à 10 % d'économies d'énergie grâce aux sources de plasma et à l'absence de brûleurs à plasma
  • Jusqu'à 50 % d'économies d'eau
03.

Les avantages financiers

  • Le temps de retour sur investissement pour remplacer le C2F6 est inférieur à 2 ans.
  • Solvaclean n'a pas besoin d'incinérateurs à plasma pour détruire les C2F6, NF3 ou SF6 restants, ce qui entraîne une réduction des coûts.
04.

Région d'activité

  • /
  • Siège principal
  • Activité
05.

Profil de l'entreprise

Solvay

Solvay est une entreprise mondiale dirigée par des chimistes fiers et engagés. Nous demandons plus à la chimie.

Voir le profil de l'entreprise
Siège principal 1000 Brussels, Belgium
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