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S'inscrireMélanges de gaz fluorés comme alternative écologique aux gaz de nettoyage pour les semi-conducteurs
Info
Mélanges de gaz fluorés comme alternative écologique aux gaz de nettoyage pour les semi-conducteurs
Les fabricants de puces à semi-conducteurs utilisent dans leurs procédés une variété de gaz pour modeler les plaquettes de silicium. Après un certain nombre de plaquettes traitées, les chambres de traitement doivent être nettoyées. Pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs, Solvay a développé et breveté au niveau mondial deux mélanges différents de gaz fluorés comme gaz respectueux de l'environnement pour les processus de nettoyage CVD. Solvaclean est un gaz de nettoyage destiné à remplacer les trois principaux gaz de nettoyage C2F6, CF4 et NF3, par des mélanges de gaz fluorés respectueux de l'environnement. Ce projet comprenait la validation et l'optimisation des nouveaux procédés de nettoyage sur les équipements de production et la mise en production FAB (usine de fabrication de semi-conducteurs où sont fabriqués des dispositifs tels que les circuits intégrés). Solvaclean nettoie avec une vitesse et une efficacité similaires à celles des alternatives, avec moins de gaz utilisé par utilisation.
Solvay
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