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RegistarMisturas de gás fluorado como uma alternativa de gás de limpeza ecológica para semicondutores
Informação
Misturas de gás fluorado como uma alternativa de gás de limpeza ecológica para semicondutores
Os fabricantes de pastilhas semicondutoras utilizam nos seus processos uma variedade de gases para moldar pastilhas de silício. Após uma série de bolachas processadas, as câmaras de processo devem ser limpas. Para satisfazer a necessidade da indústria de semicondutores, a Solvay desenvolveu e patenteou globalmente duas misturas diferentes de gases fluorados como gases amigos do ambiente para processos de limpeza por CVD. Solvaclean é um gás de limpeza para substituir três grandes gases de limpeza C2F6, CF4 e NF3, por misturas de gases fluorados amigos do ambiente. Este projecto incluiu a validação e optimização dos novos processos de limpeza do equipamento de produção e a libertação para a produção de FAB (fábrica de semicondutores onde são fabricados dispositivos tais como circuitos integrados). Solvaclean é uma limpeza com velocidade e eficiência semelhantes às alternativas, com menos gás utilizado por utilização.
Solvay
Na Solvay, estamos a dominar os elementos essenciais ao nosso mundo.
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