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RegistarSolvaclean
Misturas de gás fluorado como uma alternativa de gás de limpeza ecológica para semicondutores
- About Company
Informação
Solvaclean
Misturas de gás fluorado como uma alternativa de gás de limpeza ecológica para semicondutores
Data do rótulo
25 de janeiro de 2021
Por
Solvay
De
Bélgica
Fase de maturação
D - Comercialização em pequena escala
Os fabricantes de pastilhas semicondutoras utilizam nos seus processos uma variedade de gases para moldar pastilhas de silício. Após uma série de bolachas processadas, as câmaras de processo devem ser limpas. Para satisfazer a necessidade da indústria de semicondutores, a Solvay desenvolveu e patenteou globalmente duas misturas diferentes de gases fluorados como gases amigos do ambiente para processos de limpeza por CVD. Solvaclean é um gás de limpeza para substituir três grandes gases de limpeza C2F6, CF4 e NF3, por misturas de gases fluorados amigos do ambiente. Este projecto incluiu a validação e optimização dos novos processos de limpeza do equipamento de produção e a libertação para a produção de FAB (fábrica de semicondutores onde são fabricados dispositivos tais como circuitos integrados). Solvaclean é uma limpeza com velocidade e eficiência semelhantes às alternativas, com menos gás utilizado por utilização.
The Environmental Benefits
- •Menos gás fluorado utilizado
- •2200 t de poupança de CO2 com base em 30000 wafers
- •Não é necessária a incineração de plasma do gás residual
- •2200 t de poupança de CO2 em comparação com a limpeza de 30000 wafers com C2F6 - potencial de poupança anual de 4,5 milhões de toneladas de equivalente de CO2
- •Até 10% de poupança de energia resultante de fontes de plasma e sem queimadores de plasma
- •Até 50% de poupança de água
The Financial Benefits
- •O tempo de retorno para substituir o C2F6 é inferior a 2 anos
- •Solvaclean não necessita de incineradores de plasma para destruir o C2F6,NF3 ou SF6 restante, induzindo uma redução de custos
Perfil do cliente alvo
Etiquetas
Aplicações
Propostas
Região de actividade
- Sede
- Actividade
Perfil da Empresa
Solvay
Na Solvay, estamos a dominar os elementos essenciais ao nosso mundo.
Sede
1120 Brussels, Belgium
Tipo
Empresa
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