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Une nouvelle molécule gazeuse réduisant le potentiel de réchauffement planétaire dans la fabrication de semi-conducteurs
- About Company
Info
enScribe™ Product line
Une nouvelle molécule gazeuse réduisant le potentiel de réchauffement planétaire dans la fabrication de semi-conducteurs
Date du label
3 février 2021
Par
Air Liquide
De
France
Stade de maturité
E - Commercialisation à moyenne et grande échelle
La fabrication de structures de dispositifs semi-conducteurs nécessite plusieurs procédés en phase gazeuse pour une croissance/élimination contrôlée des matériaux afin de créer des architectures spécifiques. Air Liquide a développé un nouveau portefeuille de gaz spéciaux de gravure avancés pour résoudre les futurs défis technologiques et environnementaux de l'industrie des semi-conducteurs. Ces gaz apportent deux types d'avantages aux clients de l'industrie des semi-conducteurs : non seulement ils répondent à leurs nouveaux défis techniques pour des dispositifs plus avancés et plus complexes, mais ils apportent également des avantages environnementaux en réduisant l'empreinte globale du PRP de leur usine.
Avantages pour l’environnement
- •Réduit le temps de traitement de 50 %.
- •Amélioration de la sélectivité du masque a-C de 3 à 4 fois par rapport au C4F6
- •Un PRP mille fois plus faible (1/1000) que celui des fluorocarbures conventionnels (a-C4F8).
- •Le gaz enScribe™ G1 réduit les émissions de CO2 du client de 4 % - ce qui équivaut à la réduction des émissions de CO2 de 29 000 voitures.
Les avantages financiers
- •Temps de retour sur investissement inférieur à 5 ans
- •Améliorer le rendement de 10 % par rapport à l'alternative traditionnelle.
Profil du client cible
Tags
Applications
Avantages
Région d'activité
- Siège principal
- Activité
Profil de l'entreprise
Air Liquide
Un leader mondial dans le domaine des gaz, des technologies et des services pour l'industrie et la santé.
Siège principal
75007 Paris, France
Type
Entreprise
Sujets associés
Solutions complémentaires
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