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enScribe™ Product line

Une nouvelle molécule gazeuse réduisant le potentiel de réchauffement planétaire dans la fabrication de semi-conducteurs

February 2021
Gallery enScribe™ Product line 1
Gallery enScribe™ Product line 1
01.

Identification

La fabrication de structures de dispositifs semi-conducteurs nécessite plusieurs procédés en phase gazeuse pour une croissance/élimination contrôlée des matériaux afin de créer des architectures spécifiques. Air Liquide a développé un nouveau portefeuille de gaz spéciaux de gravure avancés pour résoudre les futurs défis technologiques et environnementaux de l'industrie des semi-conducteurs. Ces gaz apportent deux types d'avantages aux clients de l'industrie des semi-conducteurs : non seulement ils répondent à leurs nouveaux défis techniques pour des dispositifs plus avancés et plus complexes, mais ils apportent également des avantages environnementaux en réduisant l'empreinte globale du PRP de leur usine.

Date de l'étiquette fvrier 2021
De France
Stade de maturité Commercialisation à moyenne et grande échelle
En train de rechercher Réseau, Visibilité, Nouveaux clients, Financement, Partenaires

Secteurs - Chaîne de valeur - Application

Secteurs
Applications
Conception, alimentation et production
Emballer et distribuer
Utilisation et efficacité
Valoriser et restaurer
Étapes de la chaîne de valeur
  • /
02.

Les avantages pour l'environnement

  • Réduit le temps de traitement de 50 %.
  • Amélioration de la sélectivité du masque a-C de 3 à 4 fois par rapport au C4F6
  • Un PRP mille fois plus faible (1/1000) que celui des fluorocarbures conventionnels (a-C4F8).
  • Le gaz enScribe™ G1 réduit les émissions de CO2 du client de 4 % - ce qui équivaut à la réduction des émissions de CO2 de 29 000 voitures.
03.

Les avantages financiers

  • Temps de retour sur investissement inférieur à 5 ans
  • Améliorer le rendement de 10 % par rapport à l'alternative traditionnelle.
04.

Région d'activité

  • /
  • Siège principal
  • Activité
05.

Profil de l'entreprise

Air Liquide

Un leader mondial dans le domaine des gaz, des technologies et des services pour l'industrie et la santé.

Voir le profil de l'entreprise Site web de la solution
Siège principal 75007 Paris, France
06.

Sujets associés

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