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RegistrarseMezclas de gas flúor como alternativa ecológica de gas de limpieza para semiconductores
Información
Mezclas de gas flúor como alternativa ecológica de gas de limpieza para semiconductores
Los fabricantes de chips semiconductores utilizan en sus procesos una variedad de gases para modelar las obleas de silicio. Después de procesar un número de obleas, las cámaras de proceso deben limpiarse. Para satisfacer la necesidad de la industria de los semiconductores, Solvay desarrolló y patentó a nivel mundial dos mezclas diferentes de gas flúor como gases ecológicos para los procesos de limpieza CVD. Solvaclean es un gas de limpieza que sustituye los tres principales gases de limpieza C2F6, CF4 y NF3, por mezclas de gases fluorados respetuosos con el medio ambiente. Este proyecto incluía la validación y optimización de los nuevos procesos de limpieza en los equipos de producción y la puesta en marcha de la producción FAB (planta de fabricación de semiconductores donde se fabrican dispositivos como los circuitos integrados). Solvaclean limpia con una velocidad y eficacia similares a las de las alternativas, con menos gas utilizado por utilización.
Solvay
En Solvay, dominamos los elementos esenciales de nuestro mundo.
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