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Información

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Solvaclean

Mezclas de gas flúor como alternativa ecológica de gas de limpieza para semiconductores

January 2021
Gallery Solvaclean 1
Gallery Solvaclean 1
01.

Identificación

Los fabricantes de chips semiconductores utilizan en sus procesos una variedad de gases para modelar las obleas de silicio. Después de procesar un número de obleas, las cámaras de proceso deben limpiarse. Para satisfacer la necesidad de la industria de los semiconductores, Solvay desarrolló y patentó a nivel mundial dos mezclas diferentes de gas flúor como gases ecológicos para los procesos de limpieza CVD. Solvaclean es un gas de limpieza que sustituye los tres principales gases de limpieza C2F6, CF4 y NF3, por mezclas de gases fluorados respetuosos con el medio ambiente. Este proyecto incluía la validación y optimización de los nuevos procesos de limpieza en los equipos de producción y la puesta en marcha de la producción FAB (planta de fabricación de semiconductores donde se fabrican dispositivos como los circuitos integrados). Solvaclean limpia con una velocidad y eficacia similares a las de las alternativas, con menos gas utilizado por utilización.

Fecha de la etiqueta enero 2021
Por Solvay
Desde Bélgica
Etapa de madurez Comercialización a pequeña escala
Buscando Red, Nuevos clientes, Visibilidad

Sectores - Cadena de valor - Aplicación

Sectores
Aplicaciones
Diseñar, alimentar y producir
Empaquetar y distribuir
Valorizar y restaurar
Pasos de la cadena de valor
02.

Los beneficios medioambientales

  • Se utiliza menos gas fluorado
  • 2200 t de ahorro de CO2 sobre la base de 30000 obleas
  • No es necesaria la incineración por plasma de los gases residuales
  • Ahorro de 2200 t de CO2 en comparación con la limpieza de 30000 obleas con C2F6 - potencial de ahorro anual de 4,5 millones de toneladas de CO2 equivalente
  • Hasta un 10% de ahorro de energía gracias a las fuentes de plasma y sin quemadores de plasma
  • Hasta un 50% de ahorro de agua
03.

Los beneficios financieros

  • El tiempo de amortización para sustituir el C2F6 es inferior a 2 años
  • Solvaclean no necesita incineradores de plasma para destruir los restos de C2F6,NF3 o SF6, lo que supone una reducción de costes
04.

Actividad Región

  • /
  • Sede
  • Actividad
05.

Perfil Empresa

Solvay

Solvay es una empresa global impulsada por químicos orgullosos y comprometidos. Pedir más a la química.

Ver perfil de la empresa
Sede 1000 Brussels, Belgium
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