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enScribe™ Product line

Una nueva molécula de gas que disminuye el potencial de calentamiento global en la fabricación de semiconductores

February 2021

Información

Esta página, publicada originalmente en inglés, se ofrece en español con la ayuda de traductores automáticos. ¿Necesita ayuda? Póngase en contacto con nosotros

enScribe™ Product line

Una nueva molécula de gas que disminuye el potencial de calentamiento global en la fabricación de semiconductores

  • World Alliance Member
  • Featured Solution
  • Labelled Solution
Fecha de la etiqueta 3 de febrero de 2021
Desde Francia
Etapa de madurez TRL 9 / CRI 5-6 - La competencia en el mercado impulsa el despliegue generalizado &/ Clase de activos de grado "financiable

La fabricación de estructuras de dispositivos semiconductores requiere varios procesos en fase gaseosa para el crecimiento/eliminación controlada de materiales con el fin de crear arquitecturas específicas. Air Liquide ha desarrollado una nueva cartera de gases especiales de grabado avanzados para resolver los futuros retos tecnológicos y medioambientales de la industria de los semiconductores. Aporta dos tipos de ventajas a los clientes de semiconductores: no sólo abordan sus nuevos retos técnicos para dispositivos más avanzados y complicados, sino que también aportan beneficios medioambientales al reducir la huella global de GWP de su fábrica.

The Environmental Benefits

  • Reduce el tiempo del proceso en un 50%.
  • Mejora la selectividad de la máscara a-C de 3 a 4 veces en comparación con el C4F6
  • Un GWP mil veces menor (1/1000) en comparación con los fluorocarbonos convencionales (a-C4F8)
  • El gas enScribe™ G1 reduce la emisión fabulosa de CO2 del cliente en un 4%, lo que equivale a la reducción de la emisión de CO2 de 29.000 coches

The Financial Benefits

  • Menos de 5 años de amortización
  • Mejora el rendimiento en un 10 % en comparación con la alternativa principal

Perfil del cliente objetivo

Actividad Región

  • Sede
  • Actividad

Perfil Empresa

Air Liquide

Líder mundial en gases, tecnologías y servicios para la Industria y la Salud.

Sede 75007 Paris, France
Tipo Empresa
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