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enScribe™ Product line

Una nueva molécula de gas que disminuye el potencial de calentamiento global en la fabricación de semiconductores

February 2021
Gallery enScribe™ Product line 1
Gallery enScribe™ Product line 1
01.

Identificación

La fabricación de estructuras de dispositivos semiconductores requiere varios procesos en fase gaseosa para el crecimiento/eliminación controlada de materiales con el fin de crear arquitecturas específicas. Air Liquide ha desarrollado una nueva cartera de gases especiales de grabado avanzados para resolver los futuros retos tecnológicos y medioambientales de la industria de los semiconductores. Aporta dos tipos de ventajas a los clientes de semiconductores: no sólo abordan sus nuevos retos técnicos para dispositivos más avanzados y complicados, sino que también aportan beneficios medioambientales al reducir la huella global de GWP de su fábrica.

  • /
Fecha de la etiqueta 3 de febrero de 2021
Desde Francia
Etapa de madurez Comercialización a media y gran escala
Buscando Red, visibilidad, nuevos clientes, financiación, socios
02.

Los beneficios medioambientales

  • Reduce el tiempo del proceso en un 50%.
  • Mejora la selectividad de la máscara a-C de 3 a 4 veces en comparación con el C4F6
  • Un GWP mil veces menor (1/1000) en comparación con los fluorocarbonos convencionales (a-C4F8)
  • El gas enScribe™ G1 reduce la emisión fabulosa de CO2 del cliente en un 4%, lo que equivale a la reducción de la emisión de CO2 de 29.000 coches
03.

Los beneficios financieros

  • Menos de 5 años de amortización
  • Mejora el rendimiento en un 10 % en comparación con la alternativa principal
04.

Actividad Región

  • /
  • Sede
  • Actividad
05.

Perfil Empresa

Air Liquide

Líder mundial en gases, tecnologías y servicios para la Industria y la Salud.

Ver perfil de la empresa Sitio web de la solución
Sede 75007 Paris, France
06.

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