enScribe™ Product line

Gallery enScribe™ Product line 1
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February 2021
Siège principal 75007 Paris, France
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enScribe™ Product line - Une nouvelle molécule gazeuse réduisant le potentiel de réchauffement planétaire dans la fabrication de semi-conducteurs

La fabrication de structures de dispositifs semi-conducteurs nécessite plusieurs procédés en phase gazeuse pour une croissance/élimination contrôlée des matériaux afin de créer des architectures spécifiques. Air Liquide a développé un nouveau portefeuille de gaz spéciaux de gravure avancés pour résoudre les futurs défis technologiques et environnementaux de l'industrie des semi-conducteurs. Ces gaz apportent deux types d'avantages aux clients de l'industrie des semi-conducteurs : non seulement ils répondent à leurs nouveaux défis techniques pour des dispositifs plus avancés et plus complexes, mais ils apportent également des avantages environnementaux en réduisant l'empreinte globale du PRP de leur usine.

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Fonctionnalités principales

  • Réduit le temps de traitement de 50 %.
  • Amélioration de la sélectivité du masque a-C de 3 à 4 fois par rapport au C4F6
  • Un PRP mille fois plus faible (1/1000) que celui des fluorocarbures conventionnels (a-C4F8).
  • Le gaz enScribe™ G1 réduit les émissions de CO2 du client de 4 % - ce qui équivaut à la réduction des émissions de CO2 de 29 000 voitures.

Rentabilité

  • Temps de retour sur investissement inférieur à 5 ans
  • Améliorer le rendement de 10 % par rapport à l'alternative traditionnelle.

Catégories de demandes

Stade de maturité

  • Commercialisation à moyenne et grande échelle
  • Commercialisation à petite échelle
  • Commercialisation initiale sur le marché
  • Essais de prototypes dans le monde réel
  • Test de prototype 1:1 en laboratoire

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Région d'activité

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Sujets associés

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