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Solvaclean

Mélanges de gaz fluorés comme alternative écologique aux gaz de nettoyage pour les semi-conducteurs

January 2021

Info

Cette page, initialement publiée en anglais, vous est proposée en français avec l’aide de traducteurs automatiques. Un retour ? Contactez-nous

Solvaclean

Mélanges de gaz fluorés comme alternative écologique aux gaz de nettoyage pour les semi-conducteurs

  • World Alliance Member
  • Featured Solution
  • Labelled Solution
Date du label 25 janvier 2021
Par Solvay
De Belgique
Stade de maturité D - Commercialisation à petite échelle

Les fabricants de puces à semi-conducteurs utilisent dans leurs procédés une variété de gaz pour modeler les plaquettes de silicium. Après un certain nombre de plaquettes traitées, les chambres de traitement doivent être nettoyées. Pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs, Solvay a développé et breveté au niveau mondial deux mélanges différents de gaz fluorés comme gaz respectueux de l'environnement pour les processus de nettoyage CVD. Solvaclean est un gaz de nettoyage destiné à remplacer les trois principaux gaz de nettoyage C2F6, CF4 et NF3, par des mélanges de gaz fluorés respectueux de l'environnement. Ce projet comprenait la validation et l'optimisation des nouveaux procédés de nettoyage sur les équipements de production et la mise en production FAB (usine de fabrication de semi-conducteurs où sont fabriqués des dispositifs tels que les circuits intégrés). Solvaclean nettoie avec une vitesse et une efficacité similaires à celles des alternatives, avec moins de gaz utilisé par utilisation.

Avantages pour l’environnement

  • Moins de gaz fluorés utilisés
  • 2200 t de CO2 économisées sur la base de 30000 plaquettes
  • Pas d'incinération au plasma des gaz d'échappement nécessaire
  • Économie de 2200 t de CO2 par rapport au nettoyage de 30 000 plaquettes avec du C2F6 - potentiel d'économie annuelle de 4,5 millions de tonnes d'équivalent CO2.
  • Jusqu'à 10 % d'économies d'énergie grâce aux sources de plasma et à l'absence de brûleurs à plasma
  • Jusqu'à 50 % d'économies d'eau

Les avantages financiers

  • Le temps de retour sur investissement pour remplacer le C2F6 est inférieur à 2 ans.
  • Solvaclean n'a pas besoin d'incinérateurs à plasma pour détruire les C2F6, NF3 ou SF6 restants, ce qui entraîne une réduction des coûts.

Avantages

Région d'activité

  • Siège principal
  • Activité

Profil de l'entreprise

Solvay

Chez Solvay, nous maîtrisons les éléments essentiels à notre monde.

Siège principal 1120 Brussels, Belgium
Type Entreprise
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